光學(xué)微電子行業(yè)潔凈室無塵車間凈化工程系統(tǒng)關(guān)系
光學(xué)微電子行業(yè)潔凈室無塵車間凈化工程系統(tǒng)關(guān)系
潔凈室凈化工程潔凈等級:萬級、局部千級。光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析之無塵車間的特點:
A、光學(xué)微電子行業(yè)潔凈室無塵車間的潔凈度:
LCD制屏的簡略流程為:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。
在本設(shè)計里是指末端工藝的一些無塵車間,其凈化潔凈度一般為千級或萬級或十萬級。背光屏類無塵車間主要是這類產(chǎn)品的沖壓車間、組裝等無塵車間,其潔凈度一般為萬級或十萬級。
B、潔凈室室無塵車間內(nèi)空氣參數(shù)要求 :
(1)溫濕度要求:溫度一般為24+2℃,相對濕度為55+5%。
(2)新風(fēng)量大。由于這類車間內(nèi),人員比較多,可以根據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的最大值:非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30%;補償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時的新鮮 空氣量≥40m3/h。
(3)送風(fēng)量大。為了滿足潔凈室內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡,需要較大的送風(fēng)量,就300平方米的車間,吊頂高度為2.5米的,如果是萬級,送風(fēng)量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù),是≥25次/h);如果是十萬級,送風(fēng)量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù),是≥15次/h)。
光學(xué)微電子行業(yè)潔凈室無塵車間凈化工程系統(tǒng)關(guān)系:
1、組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風(fēng)口這是一個傳統(tǒng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計方案。組合式空氣處理機組里含有各種功能段,如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風(fēng)段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風(fēng)機段等。其冷源由冷水機組提供。
優(yōu)點:
A.空氣處理效果好,因空氣經(jīng)過集中處理,在送風(fēng)過程中被污染程度較低。送風(fēng)的溫度、濕度的控制比較精確;
B.比較適用于有集中冷源的或是較大的廠房;
C.空調(diào)冷熱源可與廠房普通空調(diào)系統(tǒng)合用或獨立冷熱源;
D.維修頻率較低;
E.車間的噪音低。
缺點:
A.需要有配套的冷凍機房或有放置熱泵機組的室外空間。另需要有放置組合式空氣處理機組的空調(diào)機房,如25000m3/h的組合式空氣處理機組,常用外形尺寸為6450×1850×2250mm左右。對于舊廠房改造項目來說比較困難空出一個20-30m的機房的;
B.造價高。
特點:
A.建議新風(fēng)經(jīng)過集中處理后再與回風(fēng)混合,這樣可以減少表冷段的冷處理負擔(dān);
C.這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的凈化無塵廠房。
2、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析之水冷柜機+增壓風(fēng)柜+高效送風(fēng)口與前種方案比較,這是相對比較簡單的空調(diào)方案。它可以大大地縮小機房的面積,水冷柜機可以根據(jù)具體的情況布置于較小機房內(nèi)或凈化車間內(nèi),增壓風(fēng)柜也可以布置于機房內(nèi)或吊在機房內(nèi)或在夾層內(nèi)。
優(yōu)點:
A.空氣處理效果較好的,處理過后的空氣在送風(fēng)過程中被污染程度低。送風(fēng)的溫度、濕度控制效果可以達到較好的控制。主要在空氣處理機組(增壓風(fēng)柜)里進行控制;
B.布置靈活。自帶冷源;
C.大小廠房、新舊廠房都適用;
D.維修頻率較低;
E.車間噪音低。
缺點:
A.需要小面積的機房。需要有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置;
B.空調(diào)機組與空調(diào)處理機組要集中布置;
C.造價較低。
特點:這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng),具體根據(jù)車間的大小情況而定;這類方案一般可以適用于潔凈度為千級、萬級、十萬級等的凈化無塵廠房。